2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

2015年3月12日(木) 13:15 〜 18:30 D8 (16-303)

18:15 〜 18:30

[12p-D8-19] ランタンとチタンの複合酸化物(H4)光学薄膜の内部応力の経時変化

〇中野 良太1、室谷 裕志1 (1.東海大院工)

キーワード：H4、応力、光学薄膜