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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.4 薄膜新材料

[12p-D8-1~19] 6.4 薄膜新材料

2015年3月12日(木) 13:15 〜 18:30 D8 (16-303)

14:00 〜 14:15

▲ [12p-D8-4] Characterization of Thick AlN Templates Grown on Micro-circle Patterned-Si Substrates

〇(P)Tinh Tran¹, Noritoshi Maeda¹, Shiro Toyoda¹, Hideki Hirayama¹ (1.RIKEN)

キーワード：AlN,Patterned-Si substrate,UV-LEDs