[12p-P1-1~5] 1.1 応用物理一般・学際領域

[12p-P1-2] 高空間分解能な静電気分布計測のためのセンサアレイの開発

〇菊永 和也¹、江頭 正浩¹、山下 博史¹、檜枝 龍美¹、野中 一洋¹ (1.産総研)

キーワード：静電気、センサアレイ、分布