[12p-P1-1~5] 1.1 応用物理一般・学際領域

[12p-P1-4] アルゴン雰囲気中ta-C薄膜の深紫外光照射損傷

〇神津 知己^{1, 2}、山口 誠³、川口 雅弘⁴、西田 謙² (1.レニショー株式会社, 2.防衛大学校, 3.秋田大学, 4.都立産技研センター)

キーワード：ラマン分光、ダイヤモンドライクカーボン、深紫外光