[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-5] 吸引プラズマによるポリイミド表面の親水性処理

〇狩野 諒¹、菅 洋志¹、高橋 賢²、白山 裕也²、新堀 俊一郎²、清水 哲夫³ (1.千葉工大, 2.三友製作所, 3.産総研)

キーワード：吸引プラズマ、ポリイミド、親水性処理