[12p-P12-1~23] 12.4 有機EL・トランジスタ

[12p-P12-9] 紫外線重合したポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜を用いたペンタセン薄膜トランジスタ

〇芝尾 秀人¹、中原 佳夫¹、宇野 和行¹、田中 一郎¹ (1.和歌山大システム工)

キーワード：ポリシルセスキオキサン、ゲート絶縁膜、有機薄膜トランジスタ