[12p-P16-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-P16-18] スパッタ法によるGaNテンプレート上へのInN層の成長

〇(M2)福井 迪¹、小橋 勇希¹、多田 暁由¹、神田 赳志¹、水野 愛¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：InN、スパッタ