PDF ダウンロード スケジュール 1 いいね! 0 16:00 〜 18:00 [12p-P17-6] RFマグネトロンスパッタリング法により作製したSixC1-x混晶薄膜の光学的・構造的特性 〇(M1)楠木 厚毅1、原 広紀1、勝俣 裕1 (1.明大理工) キーワード:SiC、スパッタリング、混晶