[12p-P3-1~3] 1.5 資源・環境

[12p-P3-2] 汎用性に富むクリーン環境ＣＵＳＰ ～ 太陽電池作製プラットフォームから居住空間応用まで

〇石橋 晃^{1, 2}、大橋 美久² (1.北大電子研, 2.シーズテック㈱)

キーワード：清浄環境、清浄度