[12p-P4-1~12] 6.6 プローブ顕微鏡

[12p-P4-3] 酸化Ga/Si(111)表面の熱処理過程のSTM観察

〇苗代迫 拓也¹、岡田 有史¹、西村 慶也¹、吉村 雅満²、角野 広平¹ (1.京工繊大, 2.豊田工大)

キーワード：走査トンネル顕微鏡、真空蒸着、酸化