[12p-P8-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[12p-P8-10] アモルファス窒化炭素薄膜の作製Ⅰ

〇内島 一哉¹、佐竹 聖樹²、中村 重之³、財部 健一⁴、福井 一俊⁵、伊藤 國雄¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工, 2.明石高専, 3.津山高専, 4.岡山理大, 5.福井大学)

キーワード：窒化炭素、薄膜、LED