[12p-P8-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[12p-P8-2] β-FeSi₂(010)//Si(110)エピタキシャル膜における偏光ラマンスペクトル

〇(M1C)山口 陽己¹、尾方 済人¹、塚本 裕明¹、草原 彰吾¹、服部 哲¹、東 貴彦¹、秋山 賢輔²、寺井 慶和¹ (1.鹿児島大理工, 2.神奈川産技セ)

キーワード：シリサイド半導体、偏光ラマン