[12p-P8-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[12p-P8-4] スパッタリング法によるβ-FeSi₂多結晶薄膜の伝導型制御

〇(M1C)服部 哲¹、三村 祐介¹、東 貴彦¹、中山 翔太¹、塚本 裕明¹、山口 陽己¹、寺井 慶和¹ (1.鹿児島大理工)

キーワード：シリサイド半導体