[12p-P8-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[12p-P8-7] ウェットエッチングによるメサ型Mg₂Si pn接合ダイオードの作製

〇秋山 智洋¹、大徳 健太¹、堀 信彦¹、鵜殿 治彦¹ (1.茨城大工)

キーワード：マグネシウムシリサイド、受光素子、メサ構造