[12p-P8-1~14] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[12p-P8-9] イオンビームスパッタ蒸着法を用いたEr₂O₃膜の作製における照射イオン種の効果

〇藤田 将弥^{1, 2}、山口 憲司²、朝岡 秀人²、毛 偉³、近田 拓未⁴、鈴木 晶大³、寺井 隆幸³ (1.茨城大理, 2.原子力機構, 3.東京大, 4.静岡大)

キーワード：スパッタエッチング、イオン照射、薄膜