[12p-P9-1~5] 8.1 プラズマ生成・制御

[12p-P9-3] 大気圧マイクロ波ラインプラズマにおけるプラズマ挙動シミュレーション

〇鈴木 陽香¹、中野 優¹、伊藤 仁^{2, 3}、関根 誠^{1, 2}、堀 勝^{1, 2}、豊田 浩孝^{1, 2} (1.名大工, 2.名大工プラズマナノ, 3.東京エレクトロン)

キーワード：プラズマ、大気圧