[13a-A11-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[13a-A11-2] 高圧ガス中レーザー蒸発法による酸化ケイ素ナノワイヤー形成と直径制御

〇澤田 直樹¹、小塩 明¹、小海 文夫¹ (1.三重大院工)

キーワード：酸化ケイ素ナノワイヤー、レーザー蒸発