[13a-A21-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A21-1] Ptナノコロイドを分散させた不均一Pb(Zr,Ti)O₃薄膜の微細組織と圧電特性

〇松平 佳巳¹、橋爪 洋一郎¹、中嶋 宇史¹、飯島 高志²、岡村 総一郎¹ (1.東理大理, 2.産総研)

キーワード：圧電特性、微細組織、コンポジット