[13a-A21-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A21-2] Pb過剰(Pb,La)(Zr,Ti)O₃薄膜の結晶粒巨大化とその電気特性評価

〇倉持 裕介¹、橋爪 洋一郎¹、中嶋 宇史¹、山本 孝²、岡村 総一郎¹、飯島 高志³ (1.東理大理, 2.防衛大, 3.産総研)

キーワード：強誘電体薄膜、結晶成長、Pb過剰量