[13a-A21-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [13a-A21-4] 急冷法によってc軸配向させたSi基板上のPMnN-PZT単結晶薄膜の高温特性

〇半澤 弘明¹、吉田 慎哉¹、和佐 清孝²、田中 秀治¹ (1.東北大, 2.横浜市立大)

キーワード：圧電薄膜、PZT、温度特性