2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A21-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

2015年3月13日(金) 09:00 〜 12:30 A21 (6A-213)

10:00 〜 10:15

[13a-A21-5] Pb(Hf,Ti)O3薄膜の作製と圧電特性評価

〇西尾 正悟1、黒川 文弥1、肥田 博隆1、神野 伊策1 (1.神大院工)

キーワード：圧電体薄膜