[13a-A21-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[13a-A21-6] チタン酸バリウムナノキューブ規則配列マイクロパターン集積体の作製と評価

〇三村 憲一¹、加藤 一実¹ (1.産総研)

キーワード：チタン酸バリウム、ナノキューブ、自己集合