[13a-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13a-A23-5] ＳＯＩ ＭＯＳＦＥＴを用いたアンテナ結合ボロメータの基礎検討

〇(M1)植田 剛央²、鈴木 佑弥²、佐藤 弘明^{1, 2}、ティワリ アジェイ¹、廣本 宣久²、猪川 洋^{1, 2} (1.静岡大・電子研, 2.静岡大・工)

キーワード：半導体、SOI、THz