[13a-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13a-A23-9] [第6回シリコンテクノロジー分科会研究奨励賞受賞記念講演] GeSn多結晶薄膜の進展 〜3D-ICを目指して〜

〇黒澤 昌志^{1, 2}、池上 浩³、田岡 紀之¹、中塚 理¹、財満 鎭明^{1, 4} (1.名大院工, 2.学振PD, 3.九大院シス情, 4.名大エコトピア)

キーワード：GeSn