[13a-A24-1~13] 13.3 絶縁膜技術

[13a-A24-13] TiN/HfO₂/TiN構造におけるHfO₂膜の強誘電的特性TiN/HfO₂/TiN構造におけるHfO₂膜の強誘電的特性

〇西村 知紀¹、矢嶋 赳彬¹、鳥海 明¹ (1.東大院工)

キーワード：HfO2、強誘電体