[13a-A24-1~13] 13.3 絶縁膜技術

[13a-A24-2] 高圧水蒸気中における陽極酸化法により成膜したSiO_２膜の特性評価

〇(M1C)手原 大貴¹、尾和瀬 智成¹、呉 研¹、高橋 芳浩¹ (1.日大理工)

キーワード：高圧水蒸気、陽極酸化、低温成長