[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-1] [講演奨励賞受賞記念講演] Mg₂Si pn接合ダイオードのAg拡散係数評価と拡散深さ制御

〇堀 信彦¹、江坂 文孝²、鵜殿 治彦¹ (1.茨城大院, 2.原子力機構)

キーワード：pn接合ダイオード、Ag拡散係数、スパッタエッチング