[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-13] キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化 II

〇北川 淳嗣¹、藤田 詩織¹、羽渕 仁恵¹、飯田 民夫¹、大橋 史隆²、伴 隆幸²、久米 徹二²、野々村 修一² (1.岐阜高専, 2.岐大工)

キーワード：シリコンクラスレート、キセノンイオン注入