[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-9] 共スパッタリング法によるアモルファスSi/β-FeSi₂複合薄膜の形成

〇(M1)澤田 真志¹、中沢 公大¹、勝俣 裕¹ (1.明大理工)

キーワード：鉄シリサイド、アモルファスSi、スパッタリング