[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-11] CH₄およびSiH₄の解離過程

〇林 俊雄¹、石川 健治¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名大)

キーワード：半導体、太陽電池、液晶ディスプレー