[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-12] 窒素・水素プラズマ照射によるポリスチレン表面アミノ基生成プロセスの解析

〇(M1)後藤 健作¹、斉宮 大¹、礒部 倫郎¹、杉本 敏司¹、浜口 智志¹ (1.大阪大工)

キーワード：窒素・水素プラズマ、ポリスチレン