[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [13a-A27-13] Ar/O₂プラズマ処理によるプラズマインジケータの変色

〇宮崎 裕司¹、菱川 敬太¹、山川 裕¹、采山 和弘¹、井上 浩¹ (1.サクラクレパス)

キーワード：Ar/O2プラズマ、プラズマインジケータ、プラズマ診断