[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-4] DCマグネトロンカーボンスパッタリングプラズマ中の励起Ar原子の挙動

〇(M1)佐郷 友亮¹、太田 貴之¹、小田 昭紀²、上坂 裕之³ (1.名城大理工, 2.千葉工大, 3.名大院工機械)

キーワード：DLC、スパッタリング、吸収分光