[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [13a-A27-8] 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法によりABS樹脂上に作製したNi薄膜物性の膜厚依存性

〇諏訪 智巳¹、宮下 翔¹、幸田 龍典¹、森久 英¹、豊田 宏¹ (1.広島工大)

キーワード：ABS樹脂、スパッタリング、Ni薄膜