09:30 〜 09:45
▲ [13a-B1-5] Nitrogen Excess Pressure Annealing of Gallium Nitride using a Novel Heat-Beam Method
キーワード：Gallium Nitride HEMT,Annealing,Contact resistance
講演情報
一般セッション(口頭講演)
15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶
[13a-B1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶
2015年3月13日(金) 08:30 〜 13:00 B1 (6B-101)