[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-6] X線反射率法によるSiO₂/SiC構造解析

〇先崎 純寿¹、下里 淳¹、吉田 貞史¹ (1.産総研)

キーワード：SiC、MOS、XRR