[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-8] 容量検出型電子スピン共鳴分光法による4H-SiC MOSFET中の結晶欠陥の測定

〇(M1)鹿児山 陽平¹、岡本 光央²、小杉 亮治²、原田 信介²、牧野 高紘³、大島 武³、梅田 享英¹ (1.筑波大数物, 2.産総研, 3.日本原研)

キーワード：炭化ケイ素、電界効果トランジスタ、電子スピン共鳴分光法