[13a-D5-1~8] 12.6 ナノバイオテクノロジー

[13a-D5-1] 低アスペクト比マイクロポアを用いた浮遊微粒子の検出

〇筒井 真楠¹、横田 一道¹、大城 敬人¹、谷口 正輝¹、川合 知二¹ (1.阪大産研)

キーワード：ナノポア、MEMS