[13a-P12-1~5] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[13a-P12-4] 斜め堆積反応性スパッタリングにおける原料質量数の影響

〇仲尾 昌浩¹、枡川 尊重¹、井上 泰志¹、高井 治² (1.千葉工大工, 2.材料・表面工学研究所)

キーワード：反応性スパッタリング、斜め堆積、原子質量数