[13a-P13-1~27] 12.1 作製・構造制御

[13a-P13-1] 超高速真空蒸着による有機薄膜成長とデバイス特性への影響

〇松原 亮介¹、寺岡 拓麻¹、小島 広孝¹、中村 雅一¹ (1.奈良先端大物質)

キーワード：真空蒸着、薄膜成長、有機薄膜トランジスタ