2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

△ [13a-P14-12] Pb(Zr,Ti)O3薄膜と感光性樹脂の積層構造体作製とその評価

〇大久保 昂1 (1.兵庫県立大工)

キーワード：チタン酸ジルコン酸鉛、柔軟構造体、MEMS