[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-14] レチクルフリー露光装置を用いた不均一伸縮基板対応アライメント方式の複数回路への対応

〇刀根 輝徳¹、長野 聖央²、久保田 弘¹、吉岡 昌雄²、小坂 光二³ (1.熊大院自, 2.熊大工, 3.TCK)

キーワード：フレキシブルプリント回路、アライメント