[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[13a-P14-9] スペース赤外線望遠鏡のための極低温可変形鏡の開発

〇(M1)高橋 葵¹、塩谷 圭吾¹、Paul Bierden²、Steven Cornelissen²、Charlie Lam²、Michael Feinberg² (1.JAXA宇宙研, 2.BMC)

キーワード：MEMS、可変形鏡、スペース望遠鏡