[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-11] ガリウムアセチルアセトナートを用いた酸化ガリウムのMOCVD成長

高橋 映成¹、〇安田 隆¹、中込 真二¹、國分 義弘¹ (1.石巻専修大理工)

キーワード：酸化ガリウム、有機金属化学気相法、ガリウムアセチルアセトナート