[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-12] ミストエピタキシー法によるα型酸化ガリウムの横方向選択成長(ELO)

〇高塚 章夫¹、織田 真也¹、金子 健太郎²、藤田 静雄²、人羅 俊実¹ (1.株式会社FLOSFIA, 2.京大院工)

キーワード：酸化ガリウム、ミストエピタキシー、ELO