[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-6] マルチプラズマイオンプレーティングに向けた低シート抵抗ZnO透明導電膜の連続合成装置の開発

〇佐藤 直幸¹、大木 浩²、根矢 和次²、佐藤 達志² (1.茨城大院理工, 2.株式会社ビームトロン)

キーワード：透明導電膜、低シート抵抗、酸素プラズマ