09:30 〜 11:30
▲ [13a-P9-1] Study of Temporal Behavior of Microwave sheath-Voltage combination Plasma
キーワード：microwave plasma, sputtering
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.0 Plasma Electronics English Session
[13a-P9-1~1] 8.0 Plasma Electronics English Session
2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P9 (総合体育館)