[13p-A2-1~6] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

[13p-A2-5] 20 kA/cm² Nb/AlO_x/Nb接合を用いたRSFQ 100 GHzビットシリアル加算器

〇田中 雅光¹、佐藤 諒¹、藤巻 朗¹、永沢 秀一²、日高 睦夫² (1.名大, 2.産総研)

キーワード：単一磁束量子回路、サブテラヘルツ、加算器