[13p-A21-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[13p-A21-1] 化学溶液堆積法によるHfO₂-ZrO₂極薄膜の作製と特性評価

阿部 千穂子¹、塩川 真里奈¹、白石 貴久²、清水 荘雄²、舟窪 浩²、〇内田 寛¹ (1.上智大, 2.東工大)

キーワード：強誘電体、薄膜、酸化ハフニウム