[13p-A25-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13p-A25-7] Bi 原子細線をドーパント源とするSi 結晶中へのBi δ ドーピング法：キャリア輸送特性評価

〇三木 一司^{1, 2}、金澤 孝^{1, 2}、村田 晃一^{1, 2}、日塔 光一¹ (1.物材機構, 2.筑波大数物)

キーワード：シリコン、ドーピング、ビスマス